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混合氣

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產品名稱

混合氣

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產品名稱

分子式

//氦中鍺烷

GeH4/H2N2He

//氦中硅烷

SiH4/H2N2He

//氦中磷烷

PH3/H2N2He

//中硼烷

B2H6/H2N2

 

可按客戶需求配制產品。

 

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