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混合氣
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產品描述
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產品名稱 |
分子式 |
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氫/氮/氦中鍺烷 |
GeH4/H2、N2、He |
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氫/氮/氦中硅烷 |
SiH4/H2、N2、He |
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氫/氮/氦中磷烷 |
PH3/H2、N2、He |
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氫/氮/中硼烷 |
B2H6/H2、N2 |
可按客戶需求配制產品。
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